레이저 클리닝의 원리

여기에는 주로 다음과 같은 측면이 포함됩니다.

흡수 효과: 레이저의 에너지는 대상 표면의 오염 물질에 흡수되어 오염 물질 흡수 지점이 가열되어 열팽창 및 용융을 일으킬 수 있습니다. 이러한 열팽창으로 인해 열압력이 발생하여 기판에 대한 오염물질의 접착력이 일시적으로 감소하여 오염물질이 기판에서 분리되는 현상이 발생합니다.

플라즈마 효과: 레이저 빔의 출력 밀도가 재료의 임계값보다 높을 때 플라즈마가 생성됩니다. 플라즈마는 양전하를 띤 이온과 자유전자로 구성된 고에너지 전자기장으로, 오염물질과 기판 사이의 화학적 결합을 벗겨내거나 분자 구조를 해리시켜 대상 물체 표면의 오염물질을 청소할 수 있습니다.

증발 효과: 레이저 빔이 오염 물질의 표면을 조사하는 경우. 빛에너지는 오염물질에 흡수되어 오염물질을 높은 온도로 가열하여 그 온도가 증발온도 이상으로 올라가 오염물질이 증발하게 된다. 증발 효과로 기판을 손상시키지 않고 오염 물질을 완전히 제거할 수 있습니다. 광화학 반응: 레이저는 대상 물체 표면의 화학 물질과 반응합니다. 이로써 화학적 특성을 변경하고 세척 효과를 얻습니다.

폭파 효과: 레이저 클리닝 중 순간적으로 높은 에너지 밀도로 인해 발생합니다. 오염 물질은 열팽창으로 인해 폭파 효과를 겪게 됩니다. 이러한 폭파 효과로 인해 오염 물질이 단시간에 빠르게 부서져 표면에서 떨어지게 됩니다.